| 品牌 | 其他品牌 | 產地 | 國產 |
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超導垂直磁場低溫探針臺半導體測試儀LH-CRPS-VF是一款無需消耗制冷劑，依靠制冷機提供冷源的閉循環低溫磁場探針臺，配±2.5T垂直磁場，實現樣品面外增加磁場。此款低溫探針臺設計的初衷就是多功能和優秀的專業測量性能，為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個可行的解決方案。通過閉循環制冷機降溫，降溫過程中不需要其它輔助設備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。
豐富的選件和配置確保科研人員能夠實施嚴苛的、富有挑戰的測試測量。LH-CRPS-VF可實現最大面外磁場2.5T的情況下，實施C-V、I-V、微波、霍爾效應及磁輸運等測量測試。多個溫度傳感器分布于探針臺各個位置，確保溫度監視和測量的準確性和重復性。由于是二級制冷平臺制冷機提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對較高的溫度，同時樣品處于真空環境中，減少了凝結的可能性，在一些有機材料的嚴格測試要求中這一點比較重要。
LH-CRPS-VF最大可安裝樣品臺直徑51mm(2in)
超導垂直磁場低溫探針臺半導體測試儀
探針臺原理及應用
德世的低溫探針臺為材料早期無損電性能測量提供了一個精準的低溫磁場環境。探針臺是物理科學家和研究人員對材料研究的有利便捷工具、并且測試測量重復性一致性比較好。探針臺也可以作為一個靈活多用的公共測試平臺。典型的應用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測量、光電響應、電輸運特性、霍爾效應測試以及其他類型的材料研究。
德世低溫探針臺提供了眾多的測試環境，可根據研究人員的需要自行選擇對應型號，以滿足研究人員多樣化的應用需求。從通用平臺到專業平臺，每個德世探針臺都經過精心設計，以確保在整個溫區范圍內穩定運行和可靠的測量。
特點
◆無需消耗制冷劑
◆全程無值守降溫
◆豐富的選件和配件
◆2.5T磁場環境下實現標準測量
◆可實現霍爾效應測量
溫 度 結 構
1.兩級制冷平臺制冷機提供冷源，一級制冷平臺冷卻輻射屏，二級制冷平臺冷卻樣品臺和超導磁體
2.獨立磁體防輻射屏，樣品腔防輻射屏包圍著樣品臺，頂端帶有可視窗口，紅外吸收石英窗片
3.兩級制冷平臺制冷機，在4.2K時有1.2W的制冷量
磁場：
◆磁場類型：超導螺線管磁體
◆磁場方向：垂直磁場，垂直于樣品表面
◆磁場控制：標定電流磁場關系
◆磁感應強度：±2.5T
◆磁場均勻性：0.5%中心10mm直徑球體;1%中心20mm直徑球體
樣品振動 | |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注：可選低振動配置，各方向振動<1μm | |
溫度屬性 | ||
磁場 | 控溫范圍 | 配置 |
±2.5T | 10K | 6個探針臂 |
±2.0T | 11K-400K | 6個探針臂 |
±1.0T | 401K-500K | 6個探針臂 |
控溫穩定性 | |
溫度范圍 | 穩定性 |
蕞低溫不控溫 | |
<10K | ±50mK |
10K-100K | ±20mK |
100K-250K | ±20mK |
250K-350K | ±20mK |
350K-500K | ±50mK |
真空性能 | |
室溫 | <5X10-3Pa |
蕞低溫 | <5X10-4Pa |
最高溫 | <5X10-3Pa |
注：以上數據使用600L渦輪分子泵組得到 | |
時間參數：
◆抽空時間：1h(與泵組相關)
◆降溫時間：從室溫到蕞低溫5h
◆升溫時間：從蕞低溫到室溫2h
樣品臺：
◆標準樣品臺：51mm(2in)
◆最大樣品臺：51mm(2in)
◆樣品臺背光：無
◆樣品臺類型：三同軸樣品臺(選配)、接地樣品臺(標配)
探針：
◆探針數量：最多6個
◆探針傳感器：硅二極管，監視探針溫度
◆探針托溫度：<50K樣品臺處于蕞低溫度
◆探針熱沉：熱沉到防輻射屏
◆探針臂：熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測量
◆光纖探針：用于光電測量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長可選
探針位移：
◆X方向行程：50mm,移動分辨率3μm
◆Y方向行程：25mm,移動分辨率5μm
◆Z方向行程：25mm,移動分辨率5μm
制冷劑消耗：
◆室溫到蕞低溫度：不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
◆液氮消耗(80K):不需要
針臺配置
溫度配置 | |
樣品臺傳感器加熱器 | GaAs傳感器、100W加熱器 |
超導磁體傳感器加熱器 | Cernox傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
二級制冷平臺傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂) |
溫度控制 | |
控溫儀型號 | LH102C控溫儀 |
低溫輸液管 | 不需要 |
低溫液體儲存罐 | 不需要 |
支架 | |
支架尺寸 | 長寬高800X80000X670mm(不含地腳) |
地腳 | 4個橡膠減振地腳，承重500公斤 |
桌面 | 長寬厚850X850X20mm |
真空腔體 | |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
直徑高度 | φ280X270 |
可視窗凈尺寸 | φ65毫米，紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空閥門 | KF16手動擋板閥 |
放氣閥 | 手動放氣閥 |
預留接口 | 預留通用安裝接口 |
探針引出口 | 六個真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同) |
防輻射屏 | |
材料 | 銅鍍金 |
可視窗凈尺寸 | 65mm,配紅外吸收窗口 |
抽空泵組 | |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽空減振塊 | |
抽空減振塊 | KF25進出氣口，重量20公斤 |
配電要求 | |
單相電壓 | 220V/50Hz |
單相功率 | 1.5KW |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 8KW |
水冷要求 | |
制冷功率 | 8KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 5KW |
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺，盡量減小對樣品的溫度梯度，與整個探針臺電器接通
注：可選圓形和方形，性能無差異
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室
注：可選圓形和方形，性能無差異
三同軸樣品托
在同軸樣品托的基礎上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護電壓層，減小漏電流
注：可選圓形和方形，性能無差異
樣品托配置
樣品托性能
電絕緣 | 溫差 | 溫度 | |
接地樣品托 | 導通 | 0.1K-0.2K | 400K |
同軸樣品托 | >100MΩ | ≈1K | 400K |
三同軸樣品托 | >100GΩ | ≈1K-2K | 400K |
1.電絕緣測試是在10V電壓情況下，測量導電面之間的電阻 2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會對溫差產生影響，熱接觸不充分樣品負載大，會增加溫差。 | |||
接口
BNC | 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜 |
TRIAX | 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線 |
探針臂配置
德世標準的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實現直流、射頻、微波以及光學測量。
u靈活容易擴展的探針集合
u微操作針臂可以在全溫區、真空環境、磁場環境下使用
u可以配置在德世任意款探針臺上
u磁場探針臺中更換成無磁材料針臂
u針臂上安裝一個標準溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型
探針配置及用途
通用DC | 小信號低噪聲DC測量 |
高阻DC | 高阻抗低漏電流測量 |
RF-1GHz | KHz和MHz級別的測量，測量帶寬高達1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量，需要購買一個GSG探針 |
RF/微波-40GHz | 可實現高達40GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量 |
RF/微波-67GHz | 可實現高達67GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量 |
光纖探針 | 給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長，可選FC/APC或者SMA905接口 |
探針硬件配置
接口 | 探針 | 內部線 | 水平角度 | 定制 | |
通用DC | 3耳BNC | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
高阻DC | 3耳triaxial | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF-1GHz | 2.92mm(K型連接器) | SMA低溫探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF/微波-40GHz | 2.92mm(K型連接器) | 40G-GSG探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
RF/微波-67GHz | 1.85mm(Z型連接器) | 67G-GSG探針 | 1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
光纖探針 | FC/APC或SMA905 | 無 | 光纖 | ±5° | 類型、波長、入射角 |
探針性能
使用頻率 | 絕緣電阻 | 電容 | 阻抗 | 反射 | 傳輸 | |
通用DC | DC-50Hz | >100MΩ | <100pF | 50Ω | 無 | 無 |
高阻DC | DC-50Hz | >100GΩ | <100pF | 無 | 無 | 無 |
RF-1GHz | DC-1GHz | >10MΩ | 未測量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-40GHz | DC-40GHz | >1MΩ | 未測量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-67GHz | DC-67GHz | >1MΩ | 未測量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
光纖探針 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | |
注：絕緣電阻在10V電壓下測量得到 | ||||||
探針定位
X軸 | Y周 | Z軸 | |
行程 | 75mm(2in) | 25mm(0.5in) | 25mm(0.5in) |
精度 | 3μm | 5μm | 5μm |
SMA低溫專用探針
德世為低溫探針臺設計專用探針，探針具有強大的通用性，能實現直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針，無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺
型號 | 材料 | 針尖直徑（µm） |
SMA-05D-01-W | 鎢 | 1 |
SMA-05D-05-W | 5 | |
SMA-05D-10-W | 10 | |
SMA-05D-20-W | 20 | |
SMA-05D-100-W | 100 | |
SMA-05D-01-BC | 鈹銅 | 1 |
SMA-05D-05-BC | 5 | |
SMA-05D-10-BC | 10 | |
SMA-05D-20-BC | 20 | |
SMA-05D-100-BC | 100 | |
SMA-05D-01-P7 | Paliney7合金 | 1 |
SMA-05D-05-P7 | 5 | |
SMA-05D-10-P7 | 10 | |
SMA-05D-20-P7 | 20 | |
SMA-05D-100-P7 | 100 |
針尖材料 | 描述 | 應用 | 導電性 | 接觸電阻 | 壽命 |
鎢(W) | 常用，耐用 | 適用各種樣品表面，能穿透氧化層 | 好 | 小 | 長 |
鈹銅(BC) | 常用，接觸電阻小 | 沉金焊盤pad | 優 | 最小 | 長 |
paliney7合金(P7) | 專用，接觸電阻小 | 精密的焊盤pad | 好 | 小 | 長 |
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